一種半導(dǎo)體晶圓清洗裝置及其工作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110240467.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112864059A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112864059A 申請公布日 2021-05-28
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 羅云紅;黃曉波 申請（專利權(quán)）人 瀘州龍芯微科技有限公司
代理機構(gòu) 合肥正則元起專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 周衛(wèi)
地址 646000四川省瀘州市自貿(mào)區(qū)川南臨港片區(qū)羅漢街道上莊村連港路九號盈田智能終端產(chǎn)業(yè)園12棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體晶圓清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體晶圓清洗裝置及其工作方法，該半導(dǎo)體晶圓清洗裝置包括裝置外殼和晶圓主體，所述裝置外殼的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有第一轉(zhuǎn)動桿，所述裝置外殼的底端內(nèi)壁處開設(shè)有第一空腔，所述第一轉(zhuǎn)動桿與裝置外殼的內(nèi)壁貫穿連接，所述第一轉(zhuǎn)動桿的底端位于第一空腔的內(nèi)部。通過第一電機主體的驅(qū)動，帶動放置盒的轉(zhuǎn)動，方便從多方面對晶圓主體進行多角度清洗。通過第三電機主體帶動驅(qū)動滑輪轉(zhuǎn)動方便帶動晶圓主體轉(zhuǎn)動，使晶圓主體的清洗更加徹底。通過第二電機主體的驅(qū)動，帶動螺紋軸轉(zhuǎn)動，方便對活動塊的高度進行調(diào)節(jié)，在波紋管的作用下，方便噴頭主體進行擺動，使晶圓主體清洗的更加徹底。??