一種Ga2O3-CuSCN核殼異質(zhì)結(jié)日盲紫外探測(cè)器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910612898.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110323303B 公開（公告）日 2021-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN110323303B 申請(qǐng)公布日 2021-05-11
分類號(hào) H01L31/109;H01L31/032;H01L31/0352;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李山;唐為華;李培剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京鎵族科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 喬?hào)|峰
地址 100088 北京市海淀區(qū)羅莊西里碧興園1號(hào)樓2707室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種Ga2O3?CuSCN核殼異質(zhì)結(jié)日盲紫外探測(cè)器，包括作為n型核芯材料的Ga2O3單晶、作為p型殼層材料的CuSCN薄膜、與n型核芯材料歐姆接觸的第一電極以及與p型殼層材料歐姆接觸的第二電極。本發(fā)明還公開了Ga2O3?CuSCN核殼異質(zhì)結(jié)日盲紫外探測(cè)器的制備方法。本核殼結(jié)構(gòu)日盲紫外探測(cè)器的制備工藝簡(jiǎn)單，器件性能優(yōu)異，可探測(cè)超微弱日盲紫外光信號(hào)，并能實(shí)現(xiàn)自供電工作，適用于高敏感高精度的紫外光探測(cè)系統(tǒng)。