用于掩膜版光刻膠的緩存裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020430760.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211996679U | 公開（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請公布號 | CN211996679U | 申請公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號 | B65D25/02(2006.01)I | 分類 | 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料; |
| 發(fā)明人 | 林偉;林超;周榮梵 | 申請（專利權(quán)）人 | 成都路維光電有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都行之專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 成都路維光電有限公司 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新區(qū)康強(qiáng)三路1666號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于掩膜版光刻膠的緩存裝置，包括桶體、桶蓋和密封圈，桶蓋上設(shè)置有進(jìn)氣管和進(jìn)液管，桶體底部設(shè)置有出液管，所述桶蓋上還設(shè)置有清洗管，清洗管伸入桶體內(nèi)，清洗管伸入桶體一端的側(cè)面上均勻布置有圓孔噴嘴，桶體底部設(shè)置有廢液排出管；本實(shí)用新型通過在清潔管內(nèi)通入高壓的清潔藥液，清潔藥液再通過圓孔噴嘴噴射至桶體的內(nèi)壁，將桶體內(nèi)壁殘留的光刻膠清潔干凈，清潔后的廢液再通過廢液排出管排出桶體；相比于傳統(tǒng)拆卸式的清潔方式而言，本實(shí)用新型的清潔過程無需拆卸裝置，省時(shí)省力，自動化程度高，提高了工作效率，降低了清潔風(fēng)險(xiǎn)，可更好的保護(hù)設(shè)備。?? |
