一種石英堝裝硅料輔助工具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520397192.4 申請日 -
公開（公告）號 CN204752896U 公開（公告）日 2015-11-11
申請公布號 CN204752896U 申請公布日 2015-11-11
分類號 C30B15/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王東;張浩強;張鵬;閆廣寧;王怡然;李永峰;趙飛 申請（專利權(quán)）人 河北寧晉松宮半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 河北東尚律師事務(wù)所 代理人 王文慶
地址 055550 河北省邢臺市寧晉縣晶龍大街279號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種石英堝裝硅料輔助工具。其包括用來靠在石英堝外壁的豎直靠板，與豎直靠板相配合、用來靠在石英堝堝沿上、寬度與石英堝壁厚相等的水平靠板，設(shè)置在水平靠板上方、其內(nèi)沿位置對應(yīng)于石英堝內(nèi)壁位置的豎直界限板，設(shè)置在豎直界限板對面、其內(nèi)沿位置對應(yīng)于導(dǎo)流筒的位置的傾斜界限板，以及連接豎直界限板和傾斜界限板的水平連接板，水平連接板的內(nèi)沿位置對應(yīng)于石英堝內(nèi)硅料的最高位置。本實用新型能夠避免石英堝裝加的硅料在熱場中加熱時與石墨導(dǎo)流筒的接觸。