一種單晶爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201520397561.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN204727981U 公開(kāi)（公告）日 2015-10-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN204727981U 申請(qǐng)公布日 2015-10-28
分類(lèi)號(hào) C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 陳宏彬;張浩強(qiáng);岳瑞存;張鵬 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 河北寧晉松宮半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 河北東尚律師事務(wù)所 代理人 王文慶
地址 055550 河北省邢臺(tái)市寧晉縣晶龍大街279號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單晶爐，包括單晶爐主體和位于單晶爐主體上方的圓筒形副室，在圓筒形副室的底部外側(cè)焊接圓環(huán)形凸臺(tái)；在圓環(huán)形凸臺(tái)上設(shè)有豎向轉(zhuǎn)軸，還包括單晶硅棒托盤(pán)，單晶硅棒托盤(pán)包括與圓環(huán)形凸臺(tái)的上臺(tái)面相適配的圓弧形托板，圓弧形托板端部通過(guò)豎向轉(zhuǎn)軸與圓環(huán)形凸臺(tái)鉸鏈，在圓弧形托板的下方設(shè)有與其同軸心的圓環(huán)形托盤(pán)，圓環(huán)形托盤(pán)的環(huán)形面與單晶硅棒的截面相適配，圓弧形托板通過(guò)與其外端相連接的連接板與圓環(huán)形托盤(pán)外端連接。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作安全等特點(diǎn)。本實(shí)用新型可以在保障生產(chǎn)安全的情況下，在一定程度上提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。