一種直拉單晶爐熱場用堝桿

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520397335.1 申請日 -
公開（公告）號 CN204727987U 公開（公告）日 2015-10-28
申請公布號 CN204727987U 申請公布日 2015-10-28
分類號 C30B15/30(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 閆廣寧;張浩強(qiáng);張鵬;王怡然;李永峰;王東;趙飛 申請（專利權(quán)）人 河北寧晉松宮半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 河北東尚律師事務(wù)所 代理人 王文慶
地址 055550 河北省邢臺市寧晉縣晶龍大街279號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種直拉單晶爐熱場用堝桿，包括石墨材質(zhì)的托盤，在托盤的底部連接石墨材質(zhì)的支撐柱，支撐柱與托盤同軸心，托盤與支撐柱為分體結(jié)構(gòu)，托盤與支撐柱螺紋連接；在支撐柱的內(nèi)部設(shè)有支撐柱保溫碳?xì)智皇?，支撐柱保溫碳?xì)智皇覂?nèi)設(shè)有形體與支撐柱保溫碳?xì)智皇蚁噙m配的支撐柱保溫碳?xì)謮K；在托盤的徑向設(shè)有第一托盤保溫碳?xì)智皇?，在第一托盤保溫碳?xì)智皇业膬蓚?cè)對稱設(shè)有第二托盤保溫碳?xì)智皇遥谝煌斜P保溫碳?xì)智皇液偷诙斜P保溫碳?xì)智皇覂?nèi)均設(shè)有與各自腔室相適配的托盤保溫碳?xì)謮K。本實用新型具有結(jié)構(gòu)合理、節(jié)能降耗等特點。