一種拋光設(shè)備用上定盤(pán)基板下片工裝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121413337.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215659625U 公開(kāi)（公告）日 2022-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN215659625U 申請(qǐng)公布日 2022-01-28
分類(lèi)號(hào) B24B29/02（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I 分類(lèi) 磨削；拋光;
發(fā)明人 李章輝 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 重慶永信科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖安匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孟迪
地址 402160重慶市永川區(qū)星光大道999號(hào)1幢（重慶永川工業(yè)園區(qū)鳳凰湖工業(yè)園內(nèi)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種拋光設(shè)備用上定盤(pán)基板下片工裝，屬于工裝夾具技術(shù)領(lǐng)域，該下片工裝，包括定位擋板，定位擋板的上部通過(guò)卡接部件卡接定位在翻轉(zhuǎn)90°的上定盤(pán)的外周，定位擋板的底部與上定盤(pán)表面相抵觸，且定位擋板的底部承接上定盤(pán)上吸附的基板，本實(shí)用新型的有益效果是，該工裝整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作成本低、重量輕，操作輕便省力，無(wú)需人手動(dòng)摳取基板，有效了改善基板下片產(chǎn)生的彎曲度，降低了下片過(guò)程中的質(zhì)損，同時(shí)降低了工人的勞動(dòng)量。