VCM彈片的高效制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010110553.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111090222A 公開（公告）日 2020-05-01
申請公布號 CN111090222A 申請公布日 2020-05-01
分類號 G03F7/40;G03F1/00;H02K15/00 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 周武;吳輝旺 申請（專利權）人 昆山弗萊吉電子科技有限公司
代理機構 蘇州漢東知識產權代理有限公司 代理人 昆山弗萊吉電子科技有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)錦淞路399號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種VCM彈片的高效制備方法，采用光化學蝕刻技術和噴淋蝕刻機，在經過清洗干燥的基板上掩膜，蝕刻后再進行脫膜和后續(xù)處理，所述掩膜操作中，在基板的上表面涂覆光刻膠，采用接觸式曝光法，在光刻膠上貼附與VCM彈片對應圖案的掩膜版，然后進行曝光處理，曝光后將掩膜版去掉，清除所述基板上表面未固化的光刻膠，烘干，然后將基板從下表面加熱，使基板上表面溫度升至光刻膠的玻璃化轉變溫度，并保持數(shù)秒，然后立刻冷卻，冷卻后的基板下表面貼附保護膜，隨后進行蝕刻；本發(fā)明縮短了烘干時間，光刻膠形成的保護層具有較好的抗蝕性和保護能力，減少了蝕刻液的消耗量，節(jié)能環(huán)保，降低了生產成本。