應(yīng)用于蝕刻設(shè)備的蝕刻液循環(huán)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020604024.9 申請日 -
公開（公告）號 CN212128303U 公開（公告）日 2020-12-11
申請公布號 CN212128303U 申請公布日 2020-12-11
分類號 C23F1/08(2006.01)I;C23F1/46(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 吳輝旺;李軍 申請（專利權(quán)）人 昆山弗萊吉電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京國坤專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 昆山弗萊吉電子科技有限公司
地址 215000江蘇省昆山市玉山鎮(zhèn)錦淞路399號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型揭示了應(yīng)用于蝕刻設(shè)備的蝕刻液循環(huán)裝置，包括橋架在運轉(zhuǎn)臺上的負壓抽液機構(gòu)，負壓抽液機構(gòu)包括若干相間隔設(shè)置的負壓抽液管、及負壓動力源，負壓動力源的出料端設(shè)有蝕刻液回收艙，負壓抽液管與運轉(zhuǎn)臺的臺面相平行且與運轉(zhuǎn)臺運行方向相垂直設(shè)置，負壓抽液管上設(shè)有若干負壓抽液管口，若干負壓抽液管口線性相間隔排列。本實用新型通過負壓抽液機構(gòu)的設(shè)計，能將板材上的余量蝕刻液抽離，滿足板材上蝕刻液的均勻性需求，提高產(chǎn)品蝕刻質(zhì)量，同時實現(xiàn)余量蝕刻液的循環(huán)回收。負壓抽液管具備防回流腔設(shè)計，提高了負壓抽液管口負壓抽吸力的穩(wěn)定性，進一步提高了板材上蝕刻液的均勻性，產(chǎn)品蝕刻精度提升較為顯著。??