金屬電極及紫外光源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123117417.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216413006U 公開（公告）日 2022-04-29
申請公布號 CN216413006U 申請公布日 2022-04-29
分類號 H01J61/073（2006.01）I;H01J65/04（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫錢;湯文君;馮美鑫;梅果 申請（專利權）人 廣東中科半導體微納制造技術研究院
代理機構 南京利豐知識產(chǎn)權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 趙世發(fā)
地址 330000江西省南昌市南昌縣小藍經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)羅珠路278號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種金屬電極及紫外光源。所述金屬電極包括金屬基體以及原位形成在所述金屬基體表面的致密絕緣保護層。所述紫外光源包括：用于容納準分子發(fā)光氣體的放電腔室以及配置在所述放電腔室外部的第一電極和第二電極，至少所述放電腔室的局部設置在所述第一電極和第二電極之間，其中，所述第一電極和第二電極中的至少一者包括所述的金屬電極。本實用新型實施例提供的一種紫外光源，具有臭氧產(chǎn)生率低、對環(huán)境友好等特點，從而有助于拓寬紫外光源的應用領域。