一種能夠增加鍵合中晶圓對準(zhǔn)效率的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122664916.5 申請日 -
公開（公告）號 CN216871926U 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN216871926U 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 宗肖航;趙德勝;張寶順 申請（專利權(quán)）人 廣東中科半導(dǎo)體微納制造技術(shù)研究院
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 528225廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)科教路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種能夠增加鍵合中晶圓對準(zhǔn)效率的裝置，包括水平設(shè)置的定位環(huán)和豎直設(shè)置的引導(dǎo)桿，所述引導(dǎo)桿穿過所述定位環(huán)并與所述定位環(huán)的內(nèi)側(cè)相連接，且所述引導(dǎo)桿圍繞所述定位環(huán)設(shè)置；所述引導(dǎo)桿包括弧形引導(dǎo)段和直線引導(dǎo)段，所述弧形引導(dǎo)段與所述直線引導(dǎo)段直接連接，且所述弧形引導(dǎo)段位于所述直線引導(dǎo)段的上部。采用本實(shí)用新型，具有提升對準(zhǔn)精度和提高對準(zhǔn)效率的優(yōu)點(diǎn)。