一種產(chǎn)生摻雜堿金屬或鹵素的耦合氣體團簇離子束的裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110866354.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113643950A 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN113643950A 申請公布日 2021-11-12
分類號 H01J27/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 亞歷山大·托斯托古佐夫;付德君;吐沙姑·阿不都吾甫;瓦西里·帕里諾維奇;張翔宇;左文彬 申請（專利權）人 宜昌后皇真空科技有限公司
代理機構 武漢華旭知識產(chǎn)權事務所 代理人 高劍鋒
地址 430070 湖北省武漢市東湖新技術開發(fā)區(qū)大學園路20號武漢普天科技園1幢特區(qū)1-102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明設計了一種可產(chǎn)生摻雜性單電荷態(tài)堿金屬正離子或鹵素負離子的耦合氣體團簇離子束的裝置，并提出了用于產(chǎn)生該團簇離子束的方法。本發(fā)明旨在通過一個表面電離離子源所產(chǎn)生的低能單電荷態(tài)堿金屬正離子或鹵素負離子來摻雜產(chǎn)生耦合氣體團簇離子束，以此提高裝置的工作效率。在反應過程中用單原子離子代替分子離子或絡合離子，避免了摻雜性離子在摻雜過程中的碎裂現(xiàn)象。本發(fā)明通過由大量氣體原子（例如Ar）組成的中性氣體團簇束流來捕獲低能量的單電荷態(tài)堿金屬正離子或鹵素負離子，從而形成耦合氣體團簇離子束。