一種提高平邊產(chǎn)品晶棒線切割入刀穩(wěn)定性的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010564568.1 申請日 -
公開（公告）號 CN111805779B 公開（公告）日 2021-12-03
申請公布號 CN111805779B 申請公布日 2021-12-03
分類號 B28D5/04（2006.01）I;B28D7/04（2006.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 陳奎;賀賢漢;吉遠軍 申請（專利權(quán)）人 上海中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 上海申浩律師事務(wù)所 代理人 趙建敏
地址 200444 上海市寶山區(qū)山連路181號1幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的公開了一種提高平邊產(chǎn)品晶棒線切割入刀穩(wěn)定性的方法，將兩根待切割的平邊產(chǎn)品晶棒根據(jù)面方位要求旋轉(zhuǎn)，待旋轉(zhuǎn)至達到面方位要求的角度后，將待切割的平邊產(chǎn)品晶棒固定在工件板上；測定兩根平邊產(chǎn)品晶棒的旋轉(zhuǎn)角度；當旋轉(zhuǎn)角度大于等于閾值時，設(shè)定為有旋轉(zhuǎn)角度的平邊產(chǎn)品晶棒；當旋轉(zhuǎn)角度小于閾值時，設(shè)定為無旋轉(zhuǎn)角度的平邊產(chǎn)品晶棒；對于有旋轉(zhuǎn)角度的平邊產(chǎn)品晶棒，將2根樹脂條靠近平邊產(chǎn)品晶棒底部入刀口處兩側(cè)粘接，此處底部入刀口處為平邊產(chǎn)品晶棒的平邊與弧邊之間的交接點；對于無旋轉(zhuǎn)角度的平邊產(chǎn)品晶棒，將2根樹脂條靠近平邊產(chǎn)品晶棒的平邊兩側(cè)粘接；使鋼線在切入晶棒切割過程中能夠穩(wěn)定入刀。