一種P重?fù)叫凸杵瑖娚扒邦A(yù)處理方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911081149.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110957207B 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN110957207B 申請公布日 2021-12-10
分類號 H01L21/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王建華;賀賢漢;丁曉健;吳邊 申請（專利權(quán)）人 上海中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申浩律師事務(wù)所 代理人 趙建敏
地址 200444 上海市寶山區(qū)山連路181號1幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種P重?fù)叫凸杵瑖娚扒邦A(yù)處理方法，包括A混酸腐蝕：將P重?fù)叫凸杵糜诤蠬F以及HNO3的藥液槽中，在40～50℃條件下進(jìn)行酸性蝕刻40～80s，而后用去離子水清洗干凈；B堿洗：將經(jīng)過步驟A處理后的硅片安裝在堿洗槽中的凸輪機(jī)構(gòu)上，轉(zhuǎn)速為60～80RPM；該堿洗槽中盛裝有體積分?jǐn)?shù)為5～10％的強(qiáng)堿溶液，清洗溫度為40～60℃，清洗時間為3～9min。本發(fā)明通過在硅片背面噴砂處理前增加強(qiáng)堿洗步驟，在后面的噴砂處理工序中有效避免了印記殘留的產(chǎn)生，通過實(shí)際生產(chǎn)驗(yàn)證，生產(chǎn)報廢率降低至零。