一種用于半導體晶圓的自動定量加液裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121322433.0 申請日 -
公開（公告）號 CN215118845U 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN215118845U 申請公布日 2021-12-10
分類號 H01L21/67（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郝鋒華;賀賢漢;陳奎 申請（專利權）人 上海中欣晶圓半導體科技有限公司
代理機構 上海申浩律師事務所 代理人 趙建敏
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路181號1幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種用于半導體晶圓的自動定量加液裝置，包括一容器，容器是一半透明的容器，且容器的外壁上設有一定位線，定位線的位置高于容器高度的三分之一，定位線的位置低于容器高度的三分之二，容器上方設有兩根管道，兩根管道分別為進液管和進氣管，進液管的底部距離容器的底部間距1cm?3cm，進氣管的底部與定位線齊平；容器的底部設有另外兩根管道，另外兩根管道分別為回流管道和排液管道，回流管道的頂部與定位線齊平，排液管的頂部與容器的底部齊平；進氣管道連接一壓力感應器，并且進氣管道與氮氣流導通，容器的內壁安裝有液位感應器，液位傳感器的感應點位于定位線與容器底部之間。