一種硅片生產(chǎn)用超聲波清洗機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910743796.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN110369393B 公開(kāi)(公告)日 2021-04-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN110369393B 申請(qǐng)公布日 2021-04-06
分類號(hào) B08B3/02(2006.01)I;B08B3/10(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I;F26B5/08(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 余江湖;劉君;鄭松 申請(qǐng)(專利權(quán))人 安徽晶天新能源科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 243000安徽省馬鞍山市承接產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移示范園區(qū)北京大道嘉善科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種硅片生產(chǎn)用超聲波清洗機(jī),包括機(jī)身,所述機(jī)身的一側(cè)外壁上嵌入有電控面板,且機(jī)身相鄰于電控面板的一側(cè)外壁上通過(guò)螺栓固定連接有電機(jī),所述電機(jī)的一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)筒,所述轉(zhuǎn)筒的一側(cè)外壁上通過(guò)鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng)連接有筒蓋,且轉(zhuǎn)筒相鄰于筒蓋的一側(cè)外壁上設(shè)置有密封盒,該硅片生產(chǎn)用超聲波清洗機(jī),通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)式的轉(zhuǎn)筒可以在硅片超聲波清洗提供額外的水流沖擊力,一方面保證水流的振動(dòng)均勻的接觸硅片表面,提高清洗的效果和均勻性,另一方面可以將硅片清洗后的液體通過(guò)高速的離心力甩出轉(zhuǎn)筒,減少轉(zhuǎn)筒內(nèi)的雜質(zhì)含量,為后續(xù)二次清洗提供潔凈的環(huán)境,減少后續(xù)清洗液中雜質(zhì)的再次附著,提高清洗的潔凈程度。??