可快速升降溫的紅外退火爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022527606.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214747206U 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN214747206U 申請公布日 2021-11-16
分類號 F27B17/00（2006.01）I;F27D19/00（2006.01）I;F27D9/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 李小平;王愿兵;王振玉;汪愛英;孫兆雷;蔡自彪;張勝;楊林 申請（專利權(quán)）人 武漢光谷薄膜技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 代理人 許美紅
地址 430206湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)高新大道999號未來科技城C4棟3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種可快速升降溫的紅外退火爐，包括門體、上蓋板、下蓋板及石英腔；石英腔與上蓋板之間形成低溫腔，該低溫腔內(nèi)設(shè)有多個小功率紅外燈管；石英腔與下蓋板之間形成高溫腔，該高溫腔內(nèi)設(shè)有多個大功率紅外燈管。本實用新型利用高溫腔、低溫腔與石英腔配合，可實現(xiàn)紅外退火爐的快速升降溫。