一種用于電子束流的能量測量系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022864498.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214503906U 公開（公告）日 2021-10-26
申請公布號 CN214503906U 申請公布日 2021-10-26
分類號 G01T1/24（2006.01）I;G01T1/29（2006.01）I;G01T1/36（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 葉斌;譚松清;高寧;單云;張海龍;黃敬松;封淼偉;王復濤;趙平;王鳳濤;徐粒峰 申請（專利權）人 上海高鷹科技有限公司
代理機構 上海申新律師事務所 代理人 俞滌炯
地址 201507上海市金山區(qū)漕涇鎮(zhèn)亭衛(wèi)公路3308號1幢2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種用于電子束流的能量測量系統(tǒng)，包括：一種用于電子束流的能量測量系統(tǒng)，包括：鋁基板，鋁基板的下表面與一放置平面平行，上表面斜向上設置，且具有多個階梯狀的鋁基階級；電路板，設置于放置平面上且位于鋁基板的下表面的下方，并與鋁基板的下表面平行；電路板上設置有與鋁基板上表面的鋁基階級一一對應的探測器，探測器用于探測從鋁基板的上表面射入并穿過鋁基板的下表面的電子束形成的電流；預處理模塊，分別連接各個探測器，用于對探測器采集的電流進行預處理；數(shù)據(jù)分析模塊，連接預處理模塊，用于對預處理后的電流進行分析得到電子束流的最可幾能量和平均能量。結構簡單，測試成本低，測試方便。