一種超細(xì)納米晶碳化鎢涂層及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710545169.9 申請日 -
公開（公告）號 CN107130227B 公開（公告）日 2019-08-06
申請公布號 CN107130227B 申請公布日 2019-08-06
分類號 C23C16/32;C23C16/02 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 譚成文;張慧聰;于曉東 申請（專利權(quán)）人 海樸精密材料（蘇州）有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100081 北京市海淀區(qū)中關(guān)村南大街5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種超細(xì)納米晶碳化鎢涂層及其制備方法，為一種采用常壓化學(xué)氣相沉積的方法制備的超細(xì)納米晶碳化鎢涂層，所制備的超細(xì)納米晶碳化鎢涂層為具有高硬度、耐磨損、耐腐蝕特性的細(xì)晶粒層狀碳化鎢涂層，特別是存在粒徑為3～5nm的W2C超細(xì)納米晶和非晶，有效提高了層狀結(jié)構(gòu)涂層的層間結(jié)合力，和涂層硬度，該涂層的顯微硬度可以達(dá)到28.8GPa。