一種具有高{110}晶面份額的鎢涂層的制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201711379423.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN108039497A | 公開（公告）日 | 2018-05-15 |
| 申請公布號 | CN108039497A | 申請公布日 | 2018-05-15 |
| 分類號 | H01M4/88 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 郝玉朋;史佳慶;譚成文;于曉東;王芳;張慧聰;李穎 | 申請（專利權(quán)）人 | 海樸精密材料（蘇州）有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100081 北京市海淀區(qū)中關(guān)村南大街5號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提出一種具有高{110}晶面份額化學(xué)氣相沉積鎢涂層的制備方法。利用鎢{110}晶面同其<100>擇優(yōu)取向呈45°的特點(diǎn)，在銅基體上加工出與原表面呈45°的鋸齒狀凸起，常壓化學(xué)氣相沉積后，按照給定尺寸磨平外表面，充分暴露鎢的{110}晶面，進(jìn)而提高了鎢表面{110}的晶面份額。此工藝可以有效提高鎢涂層的{110}晶面份額至33％以上，并能在高溫環(huán)境中保持晶面份額的穩(wěn)定。 |
