一種用于超高真空系統(tǒng)的低溫旋轉(zhuǎn)樣品架

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120509435.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214681828U 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN214681828U 申請公布日 2021-11-12
分類號 B01L7/00（2006.01）I;B01L9/00（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 杜鵬;龔欣;魏唯;陳峰武;付宏偉;肖慧;寧澍;陳長平 申請（專利權(quán)）人 湖南爍科晶磊半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 湖南兆弘專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 徐好
地址 410000湖南省長沙市高新開發(fā)區(qū)岳麓西大道1698號麓谷科技創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)園A1棟1-1023房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于超高真空系統(tǒng)的低溫旋轉(zhuǎn)樣品架，包括冷卻液循環(huán)室、軸承、轉(zhuǎn)動部件、驅(qū)動機構(gòu)以及用于固定樣品的夾持部件，所述轉(zhuǎn)動部件上設(shè)有所述夾持部件，所述驅(qū)動機構(gòu)與所述轉(zhuǎn)動部件相連，所述冷卻液循環(huán)室與所述轉(zhuǎn)動部件通過所述軸承接觸，所述冷卻液循環(huán)室連接有冷卻液輸入管道及冷卻液輸出管道。本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便，無需設(shè)置軟連接，可靠性好等優(yōu)點。