一種集成電路芯片檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610865243.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106226674A 公開(kāi)（公告）日 2016-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN106226674A 申請(qǐng)公布日 2016-12-14
分類號(hào) G01R31/26(2014.01)I;G01R1/02(2006.01)I;G01R1/04(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 李風(fēng)浪;李舒歆 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京溢美四方軟件技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京眾合誠(chéng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 連平
地址 523000 廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)工發(fā)區(qū)生產(chǎn)力大廈406
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種集成電路芯片檢測(cè)裝置，包括旋轉(zhuǎn)傳送單元和芯片檢測(cè)單元，旋轉(zhuǎn)傳送單元和芯片檢測(cè)單元均固定安裝在底板上，旋轉(zhuǎn)傳送單元對(duì)集成電路進(jìn)行旋轉(zhuǎn)式輸送，芯片檢測(cè)單元對(duì)輸送過(guò)來(lái)的集成電路進(jìn)行芯片檢測(cè)；旋轉(zhuǎn)傳送單元包括傳送皮帶組、緩沖支撐組、動(dòng)力傳動(dòng)組和傳動(dòng)皮帶組支架，傳送皮帶組用于豎直夾持集成電路進(jìn)行旋轉(zhuǎn)作業(yè)，傳送皮帶組位于旋轉(zhuǎn)傳送單元的上部。本發(fā)明利用旋轉(zhuǎn)傳送單元進(jìn)行芯片傳送，芯片檢測(cè)單元設(shè)置在其側(cè)面，對(duì)傳送而來(lái)的芯片進(jìn)行檢測(cè)，其檢測(cè)精度高，避免了人工檢測(cè)的低效，自動(dòng)化程度高。