一種集成電路芯片檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610865243.0 申請日 -
公開（公告）號 CN106226674B 公開（公告）日 2019-01-11
申請公布號 CN106226674B 申請公布日 2019-01-11
分類號 G01R31/26;G01R1/02;G01R1/04;H01L21/66 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李風(fēng)浪;李舒歆 申請（專利權(quán)）人 北京溢美四方軟件技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇前瑞智能系統(tǒng)集成有限公司;江蘇前瑞智能科技股份有限公司;江蘇九天電氣設(shè)備有限公司
地址 221000 江蘇省徐州市云龍區(qū)徐州云龍萬達(dá)廣場3、4、5商辦樓號樓3-1408
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種集成電路芯片檢測裝置，包括旋轉(zhuǎn)傳送單元和芯片檢測單元，旋轉(zhuǎn)傳送單元和芯片檢測單元均固定安裝在底板上，旋轉(zhuǎn)傳送單元對集成電路進(jìn)行旋轉(zhuǎn)式輸送，芯片檢測單元對輸送過來的集成電路進(jìn)行芯片檢測；旋轉(zhuǎn)傳送單元包括傳送皮帶組、緩沖支撐組、動力傳動組和傳動皮帶組支架，傳送皮帶組用于豎直夾持集成電路進(jìn)行旋轉(zhuǎn)作業(yè)，傳送皮帶組位于旋轉(zhuǎn)傳送單元的上部。本發(fā)明利用旋轉(zhuǎn)傳送單元進(jìn)行芯片傳送，芯片檢測單元設(shè)置在其側(cè)面，對傳送而來的芯片進(jìn)行檢測，其檢測精度高，避免了人工檢測的低效，自動化程度高。