一種網(wǎng)狀射頻PECVD電極結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120163595.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214244606U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214244606U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-21 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C16/509（2006.01）I;C23C16/24（2006.01）I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 張超雄;王銘;汪濤;凌俊;郭小勇;易治凱 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇愛(ài)康能源研究院有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 江陰市揚(yáng)子專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張曉斐 |
| 地址 | 215600江蘇省蘇州市張家港市楊舍鎮(zhèn)華昌路188號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及的一種網(wǎng)狀射頻PECVD電極結(jié)構(gòu)，它包括網(wǎng)狀電極板（1）本體，所述網(wǎng)狀電極板（1）采用9*12的網(wǎng)框結(jié)構(gòu)，在橫向每隔四個(gè)網(wǎng)格設(shè)置一個(gè)RF功率饋入點(diǎn)（2），縱向每隔三個(gè)網(wǎng)格設(shè)置一個(gè)RF功率饋入點(diǎn)（2）。所述網(wǎng)狀電極板（1）的長(zhǎng)度為1.95m，寬度為1.60m。所述網(wǎng)狀電極板（1）的內(nèi)網(wǎng)框直徑為5cm，外網(wǎng)框直徑為7cm。本實(shí)用新型使用網(wǎng)狀的電極結(jié)構(gòu)，同時(shí)解決射頻PECVD工藝腔的邊緣效應(yīng)和電勢(shì)駐波效應(yīng)對(duì)電磁場(chǎng)均勻性的影響，改善非晶硅的鍍膜效果，提高了太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率和產(chǎn)品良率，同時(shí)穩(wěn)定的工藝更適合運(yùn)用于量產(chǎn)。 |
