一種FBAR濾波器及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210294318.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114696775A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114696775A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H03H9/02（2006.01）I;H03H9/56（2006.01）I;H03H9/58（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李國強;胡晗;李陳陽;羅添友;張鐵林 申請（專利權(quán)）人 華南理工大學(xué)
代理機構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 -
地址 510641廣東省廣州市天河區(qū)五山路381號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種FBAR濾波器及其制備方法和應(yīng)用。本發(fā)明的FBAR濾波器的組成包括多面體形的支撐襯底和設(shè)置在支撐襯底至少兩個面上的至少兩個體聲波濾波器，體聲波濾波器的組成包括支撐層、底電極、壓電層和頂電極，底電極和頂電極均為圖形化的電極，且分別設(shè)置在壓電層的兩面，體聲波濾波器中的支撐層、壓電層和底電極與支撐襯底共同構(gòu)成的空腔為空氣腔體。本發(fā)明的FBAR濾波器將可以接收各種頻率范圍的體聲波濾波器集成在同一片襯底上，縮小了FBAR濾波器的面積和體積，降低了FBAR濾波器的制作成本，適合進行大規(guī)模推廣應(yīng)用。