含雙酚A骨架結(jié)構(gòu)的分子玻璃光刻膠及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210156675.6 申請日 -
公開（公告）號 CN103304385B 公開（公告）日 2015-04-15
申請公布號 CN103304385B 申請公布日 2015-04-15
分類號 C07C43/205(2006.01)I;C07C41/30(2006.01)I;C07C39/15(2006.01)I;C07C37/055(2006.01)I;C07C69/96(2006.01)I;C07C68/06(2006.01)I;C07C43/21(2006.01)I;C07C39/17(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 分類 有機化學〔2〕;
發(fā)明人 楊國強;許箭;陳力;王雙青;李沙瑜 申請（專利權(quán)）人 國科天驥（北京）新材料技術(shù)有限責任公司
代理機構(gòu) 北京智匯東方知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 康正德;范曉斌
地址 100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村北一街2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一系列基于雙酚A為主體結(jié)構(gòu)的分子玻璃光刻膠（I和II）及其制備。將該分子玻璃光刻膠與光酸產(chǎn)生劑、交聯(lián)劑、光刻膠溶劑和其他添加劑復(fù)配成正性或負性光刻膠，在硅片上通過旋涂法可制得厚度均勻的光刻膠涂層。該光刻膠配方可用于248nm光刻、193nm光刻、極紫外光刻、納米壓印光刻及電子束光刻等現(xiàn)代光刻技術(shù)中，尤其適合使用于極紫外（EUV）光刻工藝中。