含四苯基噻酚結構的分子玻璃光刻膠的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710617151.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109305955A 公開（公告）日 2019-02-05
申請公布號 CN109305955A 申請公布日 2019-02-05
分類號 C07D333/16;G03F7/004 分類 有機化學〔2〕;
發(fā)明人 楊國強;王亞飛;王亮乾;王雙青;郭旭東 申請（專利權）人 國科天驥（北京）新材料技術有限責任公司
代理機構 北京知元同創(chuàng)知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 劉元霞
地址 101400 北京市懷柔區(qū)雁棲經(jīng)濟開發(fā)區(qū)雁棲大街53號院13號樓二層203-11室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種含四苯基噻酚結構的分子玻璃光刻膠的制備方法。其在提高產(chǎn)率的同時簡化了后續(xù)處理過程，使得工業(yè)化生產(chǎn)成為可能。具體是通過選用合適溶劑與再沉淀方法純化產(chǎn)品來代替硅膠色譜柱純化產(chǎn)物，降低了后處理的復雜性，縮短了后處理時間。并且在保持純度的情況下，使化合物(III)、(V)的產(chǎn)率得到了極大的提升：化合物(III)的產(chǎn)率提高了50％以上，化合物(V)的產(chǎn)率提高了25％以上。