螺芴衍生物分子玻璃及其制備方法和光刻中的應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201380000139.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104144908B 公開(kāi)（公告）日 2016-02-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN104144908B 申請(qǐng)公布日 2016-02-03
分類(lèi)號(hào) C07C69/96(2006.01)I;C07C69/712(2006.01)I;C07C43/205(2006.01)I;C07C43/23(2006.01)I;C07C39/23(2006.01)I 分類(lèi) 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 李嫕;郝青山;陳金平;曾毅;于天君 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 國(guó)科天驥（北京）新材料技術(shù)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京正理專(zhuān)利代理有限公司 代理人 張文祎
地址 100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村東路29號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了螺芴衍生物分子玻璃，具有如下分子結(jié)構(gòu)：式中：R1～R12為氫原子、羥基、甲氧基或酸敏感性取代基；取代基R1～R12可相同或不同，但同一苯環(huán)上取代基不能均為氫原子；該分子玻璃在各種極性溶劑中都具有很好的溶解性，適于制成薄膜，同時(shí)，其具有很高的玻璃化溫度，適合光刻加工工藝的要求；本發(fā)明還公開(kāi)了上述螺芴衍生物分子玻璃的制備方法，合成過(guò)程簡(jiǎn)單，適合工業(yè)化；本發(fā)明同時(shí)公開(kāi)了以上所述分子玻璃為主體材料的光刻膠在光刻中的應(yīng)用，其中外圍為羥基(或部分羥基)的螺芴衍生物分子玻璃可作為負(fù)性光刻膠使用，外圍羥基通過(guò)酸敏感性取代基保護(hù)(或部分保護(hù))的分子玻璃可作為正性光刻膠使用。