螺芴衍生物分子玻璃及其制備方法和光刻中的應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201380000139.X 申請日 -
公開（公告）號 CN104144908A 公開（公告）日 2014-11-12
申請公布號 CN104144908A 申請公布日 2014-11-12
分類號 C07C69/96(2006.01)I;C07C69/712(2006.01)I;C07C43/205(2006.01)I;C07C43/23(2006.01)I;C07C39/23(2006.01)I 分類 有機化學〔2〕;
發(fā)明人 李嫕;郝青山;陳金平;曾毅;于天君 申請（專利權(quán)）人 國科天驥（北京）新材料技術(shù)有限責任公司
代理機構(gòu) 北京正理專利代理有限公司 代理人 張文祎
地址 100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村東路29號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了螺芴衍生物分子玻璃，具有如下分子結(jié)構(gòu)：式中：R1～R12為氫原子、羥基、甲氧基或酸敏感性取代基；取代基R1～R12可相同或不同，但同一苯環(huán)上取代基不能均為氫原子；該分子玻璃在各種極性溶劑中都具有很好的溶解性，適于制成薄膜，同時，其具有很高的玻璃化溫度，適合光刻加工工藝的要求；本發(fā)明還公開了上述螺芴衍生物分子玻璃的制備方法，合成過程簡單，適合工業(yè)化；本發(fā)明同時公開了以上所述分子玻璃為主體材料的光刻膠在光刻中的應用，其中外圍為羥基(或部分羥基)的螺芴衍生物分子玻璃可作為負性光刻膠使用，外圍羥基通過酸敏感性取代基保護(或部分保護)的分子玻璃可作為正性光刻膠使用。