采用空芯絲熱熔法制作微通道板空心陣列基底的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911283388.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110967729A 公開（公告）日 2020-04-07
申請公布號 CN110967729A 申請公布日 2020-04-07
分類號 G01T7/00;C03B37/025;C03B37/028;C03B37/10 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王亞麗;張騫 申請（專利權(quán)）人 山西長城微光器材股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 太原科衛(wèi)專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 山西長城微光器材股份有限公司
地址 030000 山西省太原市示范區(qū)電子街7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種采用空芯絲熱熔法制作微通道板空心陣列基底的方法，涉及微通道板的制備領(lǐng)域，本發(fā)明并非完整的微通道板的制造工藝，只是提供了制作空心陣列基底的方法，其工作原理為：在光纖拉制機(jī)上，拉制空心玻璃纖維絲，進(jìn)行規(guī)制矩陣排列、拉制一次復(fù)絲，排板、真空熔合為空心微通道板，再用可溶性填充材料填充微米級纖維通道，進(jìn)行切片、研磨、拋光等冷加工處理，然后用高頻超聲清洗機(jī)清洗掉可溶性填充材料，最終制作出纖維均勻排列、通道壁光滑的MCP空心陣列基底板。本發(fā)明所提供的工藝方法，所制得的微通道板空心陣列基底，空芯通道排列規(guī)整、通道內(nèi)壁超光滑，在此空心陣列基底上用ADL技術(shù)制作微通道板，提高了微通道板各方面的性能。