微通道板通道內(nèi)拋光方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911282170.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111029230A 公開（公告）日 2020-04-17
申請公布號 CN111029230A 申請公布日 2020-04-17
分類號 H01J9/02;H01J43/24;C03C15/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李江;陳平香;栗重浩 申請（專利權(quán)）人 山西長城微光器材股份有限公司
代理機構(gòu) 太原科衛(wèi)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 山西長城微光器材股份有限公司
地址 030000 山西省太原市示范區(qū)電子街7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種微通道板通道內(nèi)拋光方法，涉及電子倍增器微通道板的制造優(yōu)化領(lǐng)域，針對采用傳統(tǒng)工藝已經(jīng)制造好的微孔陣列玻璃坯件，首先采用硝酸氫氟酸混合液進(jìn)行超聲波振動，再更換新的硝酸氫氟酸混合液磁力攪拌器中攪拌一定時間，采用純水進(jìn)行多次換水清洗；其次在氫氟酸+硫酸混液中也采用磁力攪拌器中攪拌一定時間，再采用純水進(jìn)行多次換水清洗；然后氫氟酸+硫酸+氟化銨混液中，在磁力攪拌器中攪拌，再采用純水進(jìn)行多次換水清洗；最后采用乙醇溶液清洗并放入真空烘箱中燒烤一定時間后，達(dá)到對微通道進(jìn)行內(nèi)拋光，本發(fā)明所提供的內(nèi)拋光方法，滿足ALD工藝對通道壁粗糙度要求的目的，該工藝避免了傳統(tǒng)酸腐蝕對通道壁產(chǎn)生破損，造成發(fā)射點的問題。