一種用于半導(dǎo)體晶片加工的化蠟裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201120012745.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN201985077U 公開(kāi)（公告）日 2011-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN201985077U 申請(qǐng)公布日 2011-09-21
分類號(hào) H01L21/00(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 施斌慧 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江陰市江海光伏科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214400 江蘇省江陰市徐霞客璜塘工業(yè)園集中區(qū)鳳凰路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于半導(dǎo)體晶片加工的化蠟裝置，所述裝置包括加熱盤(pán)、液蠟儲(chǔ)存鍋和化蠟筒，將所述液蠟儲(chǔ)存鍋放置在加熱盤(pán)上，在所述液蠟儲(chǔ)存鍋的上端設(shè)有鍋蓋，在所述液蠟儲(chǔ)存鍋的下部設(shè)有帶閥門(mén)的蠟液出口，將所述化蠟筒安裝在所述鍋蓋的中心孔內(nèi)，在所述化蠟筒的下端設(shè)有裝有擋板，在所述擋板的下端裝有濾紙架和濾紙，在所述化蠟筒的外壁上及蠟液儲(chǔ)存鍋的底部設(shè)置有空心套筒和/或電熱絲，其中所述空心套筒通過(guò)管路與熱水源或熱蒸汽源連接。本實(shí)用新型可采用電加熱化蠟，使固態(tài)蠟在封閉的環(huán)境中熔化，并使熔化的液態(tài)蠟經(jīng)過(guò)過(guò)濾后使用，集化蠟與濾蠟于一體，提高了液態(tài)蠟的純凈度，提高了化蠟效率。