衍射光學(xué)元件的周期優(yōu)化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010636814.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111736336A 公開（公告）日 2020-10-02
申請公布號 CN111736336A 申請公布日 2020-10-02
分類號 G02B27/00(2006.01)I;G02B27/42(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 王牧云;張東亮 申請（專利權(quán)）人 杭州馭光光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京方可律師事務(wù)所 代理人 杭州馭光光電科技有限公司
地址 310018浙江省杭州市高科技企業(yè)孵化器2幢A0804
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種衍射光學(xué)元件的周期優(yōu)化方法，包括：(1)根據(jù)目標(biāo)點(diǎn)陣的各個(gè)目標(biāo)點(diǎn)的坐標(biāo)以及衍射光學(xué)元件和目標(biāo)平面之間的距離，計(jì)算各個(gè)目標(biāo)點(diǎn)的衍射角；(2)初步選定衍射光學(xué)元件的周期；(3)計(jì)算各個(gè)目標(biāo)點(diǎn)的衍射級次；(4)將衍射級次取整得到取整后的衍射級次；(5)使用取整后的衍射級次計(jì)算出實(shí)際投射點(diǎn)的坐標(biāo)；(6)根據(jù)各個(gè)目標(biāo)點(diǎn)和實(shí)際投射點(diǎn)的坐標(biāo)計(jì)算周期優(yōu)化評價(jià)參數(shù)；(7)調(diào)整周期，重復(fù)上述步驟(3)?(6)來計(jì)算調(diào)整周期下的周期優(yōu)化評價(jià)參數(shù)；(8)根據(jù)評價(jià)參數(shù)確定衍射光學(xué)元件的最優(yōu)周期。根據(jù)本發(fā)明的法能夠在小量的計(jì)算下，使得實(shí)際分光點(diǎn)陣盡可能匹配目標(biāo)分光點(diǎn)陣，提高衍射光學(xué)元件的設(shè)計(jì)質(zhì)量和精度。??