衍射光學(xué)元件的周期優(yōu)化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010636814.X 申請日 -
公開(公告)號 CN111736336B 公開(公告)日 2021-08-03
申請公布號 CN111736336B 申請公布日 2021-08-03
分類號 G02B27/00(2006.01)I;G02B27/42(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 王牧云;張東亮 申請(專利權(quán))人 杭州馭光光電科技有限公司
代理機構(gòu) 北京方可律師事務(wù)所 代理人 郝東暉;吳艷
地址 310018浙江省杭州市高科技企業(yè)孵化器2幢A0804
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種衍射光學(xué)元件的周期優(yōu)化方法,包括:(1)根據(jù)目標點陣的各個目標點的坐標以及衍射光學(xué)元件和目標平面之間的距離,計算各個目標點的衍射角;(2)初步選定衍射光學(xué)元件的周期;(3)計算各個目標點的衍射級次;(4)將衍射級次取整得到取整后的衍射級次;(5)使用取整后的衍射級次計算出實際投射點的坐標;(6)根據(jù)各個目標點和實際投射點的坐標計算周期優(yōu)化評價參數(shù);(7)調(diào)整周期,重復(fù)上述步驟(3)?(6)來計算調(diào)整周期下的周期優(yōu)化評價參數(shù);(8)根據(jù)評價參數(shù)確定衍射光學(xué)元件的最優(yōu)周期。根據(jù)本發(fā)明的法能夠在小量的計算下,使得實際分光點陣盡可能匹配目標分光點陣,提高衍射光學(xué)元件的設(shè)計質(zhì)量和精度。