一種消除真空室變形影響的柔性密封剛性連接裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821637092.4 申請日 -
公開（公告）號 CN209278473U 公開（公告）日 2019-08-20
申請公布號 CN209278473U 申請公布日 2019-08-20
分類號 F16J15/02（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 宋宜梅; 黃以平; 李少林 申請（專利權(quán)）人 桂林實(shí)創(chuàng)真空數(shù)控設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 桂林市華杰專利商標(biāo)事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 覃永峰
地址 541004 廣西壯族自治區(qū)桂林市高新區(qū)鐵山工業(yè)園Z-7-1號C地塊
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種消除真空室變形影響的柔性密封剛性連接裝置，涉及真空室內(nèi)精密機(jī)構(gòu)安裝技術(shù)領(lǐng)域，解決的技術(shù)問題是因真空室壁面變形而對其內(nèi)安裝的精密機(jī)構(gòu)位移精度影響，該裝置包括真空室壁、緩沖密封裝置、剛性安裝座，緩沖密封裝置套裝在剛性安裝座外圓表面上，剛性安裝座一端穿過真空室壁上通孔與精密運(yùn)行機(jī)構(gòu)安裝座連接，另一端固定安裝在真空室外的剛性固定物體上，當(dāng)真空室工作時，真空室壁變形產(chǎn)生的位移經(jīng)過緩沖密封裝置的緩沖作用設(shè)備仍然保持真空密封狀態(tài)，而安裝在剛性安裝座上的精密運(yùn)行機(jī)構(gòu)安裝座不會受真空室壁上的位移影響。本實(shí)用新型解決了安裝在真空室內(nèi)的精密機(jī)構(gòu)受真空室壁變形影響而發(fā)生位移的問題并保證了真空室的真空密封。