大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710305615.9 申請日 -
公開（公告）號 CN106981410B 公開（公告）日 2019-06-28
申請公布號 CN106981410B 申請公布日 2019-06-28
分類號 H01J37/147（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃以平; 李少林; 宋宜梅 申請（專利權）人 桂林實創(chuàng)真空數(shù)控設備有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 541004 廣西壯族自治區(qū)桂林市鐵山工業(yè)園Z-7-1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置，該裝置采用兩個獨立的線圈，一個用以產(chǎn)生電子束偏轉(zhuǎn)磁場的偏轉(zhuǎn)線圈，另一個用于產(chǎn)生高頻掃描磁場、分別實現(xiàn)電子束偏轉(zhuǎn)功能和掃描功能的掃描線圈；所述的偏轉(zhuǎn)線圈由偏轉(zhuǎn)電源提供電源，所述的掃描線圈由掃描電源提供電源。利用獨立的偏轉(zhuǎn)線圈和掃描線圈分開的結構，解決了傳統(tǒng)單線圈結構難以實現(xiàn)30kw以上大功率300mm以上寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描加工的難題，并可通過CNC系統(tǒng)編程設定合成掃描軌跡及復雜工件加工，可用于大功率電子束焊機、電子束熔煉爐、電子束三維打印及其電子束表面處理等大功率電子束加工設備。