瀑布式層流蝕刻切割裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920075250.6 申請日 -
公開（公告）號 CN201495175U 公開（公告）日 2010-06-02
申請公布號 CN201495175U 申請公布日 2010-06-02
分類號 C03C15/00(2006.01)I;C03B33/02(2006.01)I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 嚴立巍;周旭 申請（專利權）人 上海儀捷光電科技有限公司
代理機構 上海天翔知識產權代理有限公司 代理人 上海儀捷光電科技有限公司
地址 201300 上海市南匯區(qū)宣中路399號8幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供的瀑布式層流蝕刻切割裝置，其主要包含可調整成角度為0-85°傾斜狀的載臺、在載臺表面上的凸狀物，以及蝕刻溶液釋放器。在操作時，主要使玻璃基板呈現(xiàn)傾斜狀態(tài)，且由蝕刻溶液釋放器的凹槽溢出的蝕刻溶液，利用瀑布般自然流下方式均勻地流經擺放在該載臺上的玻璃基板，使玻璃基板被均勻地蝕刻薄化或將貼有形狀各異保護膜的晶粒切割下來。這樣，基于傾斜狀態(tài)的玻璃基板，使得蝕刻玻璃基板所產生的生成物，將隨著剩余的蝕刻溶液一起順著該玻璃基板的傾斜方向流下。