瀑布式層流蝕刻切割方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910045698.8 申請日 -
公開（公告）號 CN101514081A 公開（公告）日 2009-08-26
申請公布號 CN101514081A 申請公布日 2009-08-26
分類號 C03C15/00(2006.01)I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 嚴(yán)立巍;周旭 申請（專利權(quán)）人 上海儀捷光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天翔知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海儀捷光電科技有限公司
地址 201300上海市南匯區(qū)宣中路399號8幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 瀑布式層流蝕刻切割方法，包含以下步驟：首先在薄形化玻璃基板的背面粘貼一層底層保護(hù)膜，再將與切割晶粒的形狀相同的面層保護(hù)膜設(shè)置在薄形化玻璃基板的正面；然后將該薄形化玻璃基板采用面層保護(hù)膜朝上的方式固定在載物臺上，最后用蝕刻溶液呈瀑布流經(jīng)薄形化玻璃基板的正面，將末被面層保護(hù)膜保護(hù)的玻璃蝕刻掉，揭開面層保護(hù)膜，即得到完整晶粒形狀的晶粒。采用上述方法后，可以使切割產(chǎn)生的切割道很窄，從而減少了對產(chǎn)品的傷害，非機(jī)械力切割也避免了傳統(tǒng)切割存在的崩角和分層現(xiàn)象。完成后的產(chǎn)品也不需要磨邊，節(jié)省了時間和作業(yè)成本。蝕刻液可以反復(fù)利用也降低了成本。