一種二維AMR開關傳感芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822127560.X 申請日 -
公開（公告）號 CN209690484U 公開（公告）日 2019-11-26
申請公布號 CN209690484U 申請公布日 2019-11-26
分類號 G01R33/02（2006.01） 分類 測量；測試;
發(fā)明人 余濤; 楊華; 柴美榮 申請（專利權）人 貴陽市觀山湖區(qū)融資擔保有限責任公司
代理機構(gòu) 貴陽中新專利商標事務所 代理人 貴州雅光電子科技股份有限公司
地址 550081 貴州省貴陽市觀山湖區(qū)都勻路12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種二維AMR開關傳感芯片，包括Si基體，在Si基體中部上方設置含IC電路的晶圓，在IC電路的晶圓直接生長AMR敏感單元，在AMR敏感單元設置鈍化層，AI電極包裹IC電路、AMR敏感單元和鈍化層且該AI電極與IC電路采用歐姆連接，該AI電極位于Si基體上端，本實用新型能夠大大降低芯片的使用面積，減少成本，降低功耗，提升產(chǎn)品的溫度穩(wěn)定性及可靠性，實現(xiàn)單芯片二維磁場檢測。