一種二維AMR開(kāi)關(guān)傳感芯片

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822127560.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN209690484U 公開(kāi)（公告）日 2019-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN209690484U 申請(qǐng)公布日 2019-11-26
分類(lèi)號(hào) G01R33/02（2006.01） 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 余濤; 楊華; 柴美榮 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)融資擔(dān)保有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 貴陽(yáng)中新專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 貴州雅光電子科技股份有限公司
地址 550081 貴州省貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)都勻路12號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種二維AMR開(kāi)關(guān)傳感芯片，包括Si基體，在Si基體中部上方設(shè)置含IC電路的晶圓，在IC電路的晶圓直接生長(zhǎng)AMR敏感單元，在AMR敏感單元設(shè)置鈍化層，AI電極包裹IC電路、AMR敏感單元和鈍化層且該AI電極與IC電路采用歐姆連接，該AI電極位于Si基體上端，本實(shí)用新型能夠大大降低芯片的使用面積，減少成本，降低功耗，提升產(chǎn)品的溫度穩(wěn)定性及可靠性，實(shí)現(xiàn)單芯片二維磁場(chǎng)檢測(cè)。