一種叉指背接觸電池的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111161024.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114093980A 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN114093980A 申請公布日 2022-02-25
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L21/265（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I;H01L31/0224（2006.01）I;H01L31/068（2012.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 高嘉慶;屈小勇;吳翔;張博;楊愛靜;張?zhí)旖?/td> 申請（專利權(quán)）人 青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市銘粵知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫偉峰
地址 810007青海省西寧市東川工業(yè)園金硅路4號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 提供了一種叉指背接觸電池及其制作方法，所述制作方法包括：提供N型硅片襯底，并對襯底進(jìn)行雙面制絨；在襯底的背面形成依次交替呈直線排列的P+摻雜區(qū)和N+摻雜區(qū)；在襯底的正面進(jìn)行磷擴(kuò)散處理，形成磷摻雜層；在襯底的摻雜區(qū)上形成第一氮化硅層，且在磷摻雜層上形成第二氮化硅層；在襯底的第一氮化硅層上分別形成正電極和負(fù)電極，以獲得所述叉指背接觸電池。本發(fā)明所提供的叉指背接觸電池及其制作方法，通過分別對電池的背面和正面進(jìn)行磷摻雜，且在對電池的正面進(jìn)行高溫磷擴(kuò)散的同時(shí)對電池的背面進(jìn)行磷離子注入的退火，從而實(shí)現(xiàn)單獨(dú)控制電池的正面方阻、背面方阻和鈍化性能的效果，有利于提升電池的轉(zhuǎn)換效率。