一種晶圓切割自動(dòng)化設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921975016.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211518099U | 公開（公告）日 | 2020-09-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211518099U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-18 |
| 分類號(hào) | B28D5/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 吳瓊瓊;崔思遠(yuǎn);文國昇;鐘勝時(shí);武良文 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江西兆馳半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 330000江西省南昌市南昌高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)高新二路18號(hào)創(chuàng)業(yè)大廈503、515室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種晶圓切割自動(dòng)化設(shè)備，包括劃片機(jī)、地軌、有軌制導(dǎo)小車、防護(hù)網(wǎng)、中控、料架、裂片機(jī)；其中：若干數(shù)量的劃片機(jī)和裂片機(jī)呈線狀放置，劃片機(jī)上設(shè)置有劃片機(jī)作業(yè)門，劃片機(jī)作業(yè)門內(nèi)部安裝有劃片機(jī)卡塞擺放平臺(tái)，裂片機(jī)上設(shè)置有裂片機(jī)作業(yè)門，裂片機(jī)作業(yè)門內(nèi)部安裝有裂片機(jī)卡塞擺放平臺(tái)，每臺(tái)劃片機(jī)作業(yè)門與裂片機(jī)作業(yè)門對(duì)向放置。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：可實(shí)現(xiàn)晶圓的自動(dòng)運(yùn)輸加工，利用自動(dòng)運(yùn)輸小車進(jìn)行水平方向移動(dòng)，自動(dòng)運(yùn)輸小車上機(jī)械手臂控制抓取片源放置劃片機(jī)和裂片機(jī)中作業(yè)，有效的降低了人力成本，具有生產(chǎn)效率高，人力成本低的特點(diǎn)。?? |
