一種用于壓電材料力頻特性檢測(cè)的力矩傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110392973.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113008428A 公開（公告）日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113008428A 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類號(hào) G01L3/10 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 陳慶盈;付浩;楊桂林;趙岷江;周強(qiáng);鮑世勇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 臺(tái)晶（寧波）電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王亮;孫健
地址 315200 浙江省寧波市鎮(zhèn)海區(qū)莊市大道519號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于壓電材料力頻特性檢測(cè)的力矩傳感器，包括應(yīng)變橫梁、內(nèi)輪輻和外輪輻，內(nèi)輪輻與外輪輻分別作為力矩傳感器的輸入單元或輸出單元，內(nèi)輪輻與外輪輻之間安裝有多個(gè)應(yīng)變橫梁，應(yīng)變橫梁內(nèi)開設(shè)有通孔，應(yīng)變橫梁上設(shè)有與通孔對(duì)應(yīng)的梁槽，該梁槽的開口處安裝有壓電薄膜。本發(fā)明在應(yīng)變橫梁上進(jìn)行兩次應(yīng)力放大，第一次應(yīng)力放大通過(guò)在應(yīng)變橫梁上開通孔來(lái)實(shí)現(xiàn)，第二次放大通過(guò)在通孔一側(cè)或者兩側(cè)位置構(gòu)建梁槽與壓電薄膜構(gòu)成梁膜結(jié)構(gòu)進(jìn)行第二次應(yīng)力放大，這樣能大大增加傳感器的靈敏度；在檢測(cè)力矩時(shí)，位于兩次放大部位的壓電薄膜在受力的同時(shí)會(huì)產(chǎn)生頻率變化，通過(guò)對(duì)頻率的測(cè)試實(shí)現(xiàn)力矩的檢測(cè)，具有響應(yīng)時(shí)間快，測(cè)量精度高，穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)。