柔性卷繞鍍膜機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN98231060.9 申請日 -
公開（公告）號 CN2339589Y 公開（公告）日 1999-09-22
申請公布號 CN2339589Y 申請公布日 1999-09-22
分類號 C23C14/56 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 彭傳才;黃廣連;曹志剛;胡云慧;余圣發(fā);魏敏;李京增 申請（專利權(quán)）人 上海凱業(yè)立德鍍膜科技有限公司
代理機構(gòu) 湖南省專利服務(wù)中心 代理人 長沙國防科技大學(xué)八達薄膜電子技術(shù)研究所;上海凱業(yè)立德鍍膜科技有限公司
地址 410073湖南省長沙市上大垅
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種柔性卷繞鍍膜機。它是由卷繞室,鍍膜室以及輔助裝置組成;在鍍膜室中圍繞冷卻輥設(shè)置有多個磁控濺射靶。兩個靶之間設(shè)置有隔離槽,隔離槽與抽氣裝置相通,隔離槽與冷卻輥之間的距離不大于10mm;每個靶配置有獨立的布氣管。本實用新型實現(xiàn)了在柔性材料上進行低輻射膜的連續(xù)鍍。