一種晶片測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510480909.6 申請日 -
公開（公告）號 CN105118795A 公開（公告）日 2015-12-02
申請公布號 CN105118795A 申請公布日 2015-12-02
分類號 H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 施勇 申請（專利權(quán)）人 海門市明陽實業(yè)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 226141 江蘇省南通市海門市四甲鎮(zhèn)人民路438號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶片測試方法，包括如下步驟：首先，根據(jù)晶片及探針卡的信息，計算同測時探針的最短走向；然后，測試儀把走向的方式通過GPIB(通用接口總線)接口給探針臺系統(tǒng)發(fā)送命令，控制探針臺系統(tǒng)托盤的走向，實現(xiàn)對晶片測試的最優(yōu)化。本發(fā)明利用軟件自動計算wafer測試的最短走向，然后測試儀把走向的方式通過GPIB接口給探針卡系統(tǒng)發(fā)送命令，控制探針臺系統(tǒng)托盤的走向，實現(xiàn)對wafer測試的最優(yōu)化，減少了在同測時對wafer的扎針次數(shù)，從而縮短了wafer的測試時間，提高了測試效率，節(jié)省了人力成本。