一種多次籽晶可替換的導膜法藍寶石晶體生長爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911066888.8 申請日 -
公開（公告）號 CN110904500B 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN110904500B 申請公布日 2021-09-28
分類號 C30B15/34（2006.01）I;C30B15/36（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I;C30B29/20（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐軍;趙衡煜;王東海;李東振;王慶國 申請（專利權）人 南京同溧晶體材料研究院有限公司
代理機構 南京中律知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 沈振濤
地址 210000江蘇省南京市溧水區(qū)東屏鎮(zhèn)金港路22號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種多次籽晶可替換的導膜法藍寶石晶體生長爐，從下到上依次設置有基座、晶體生長爐腔體、坩堝、籽晶桿、密封閥、籽晶備用艙腔體、籽晶替換盤、升降機，通過改進坩堝供料系統(tǒng)、籽晶替換盤、籽晶桿及備用籽晶倉的一系列結構，能夠進行一鍋晶體生長完成后設備不降溫，采用機械傳動方式取出晶體并更換籽晶，再次下種，重復晶體生長過程，與早前的籽晶替換方案相比，本發(fā)明不受籽晶備用艙中籽晶數(shù)量的限制，可多次開啟籽晶備用艙取出晶體并替換備用籽晶。在坩堝熔體充足的前提下，可持續(xù)生長10?20次，極大的提高藍寶石晶體的生長效率。