一種陶瓷電容壓力傳感器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111453667.3 申請日 -
公開(公告)號 CN114112168A 公開(公告)日 2022-03-01
申請公布號 CN114112168A 申請公布日 2022-03-01
分類號 G01L9/12(2006.01)I;G01L19/06(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 李開明;段紅軍;張琳;李駿楠;李瑞清 申請(專利權(quán))人 上海文襄汽車傳感器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 孫英杰
地址 201619上海市松江區(qū)洞涇鎮(zhèn)沈磚公路5500號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種陶瓷電容壓力傳感器及其制造方法。該陶瓷電容壓力傳感器包括壓力感應(yīng)元件;底座;在底座的頂部開設(shè)有容納腔,在底座的底部形成一向下中空的承壓管道,承壓管道與容納腔上下貫通,壓力感應(yīng)元件設(shè)置在容納腔內(nèi);密封膠墊,為中空結(jié)構(gòu),包括管道部和連接部,在管道部的頂端沿徑向向外延伸形成一環(huán)狀的連接部,連接部夾緊在壓力感應(yīng)元件和底座構(gòu)建容納腔的內(nèi)壁之間,管道部的外壁與承壓管道的內(nèi)壁貼合,密封膠墊和壓力感應(yīng)元件圍成一在承壓管道內(nèi)的承壓腔。本發(fā)明提出了一種陶瓷電容壓力傳感器及其制造方法,密封性能好,能有效保護(hù)陶瓷電容壓力傳感器的內(nèi)部電路。