一種快速聚合酶鏈?zhǔn)椒磻?yīng)用硅基芯片的制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111130236.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113866145A 公開（公告）日 2021-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113866145A 申請(qǐng)公布日 2021-12-31
分類號(hào) G01N21/64（2006.01）I;C12M1/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 熊勝虎;袁曉;柳翠;謝毅;肖自力;朱建偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 聯(lián)合基因生物科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申新律師事務(wù)所 代理人 黨蕾
地址 200092上海市楊浦區(qū)鞍山五村14號(hào)104室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及核酸檢測(cè)芯片技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種快速聚合酶鏈?zhǔn)椒磻?yīng)用硅基芯片的制造方法，于單晶硅晶圓片上沉積氮氧化硅膜；開窗及形成溝道得到預(yù)處理的晶圓片，進(jìn)行濕法刻蝕，濕法刻蝕后的晶圓片具有濕法刻蝕溝道；對(duì)濕法刻蝕后的晶圓片進(jìn)行清洗，采用玻璃蓋片對(duì)清洗后的晶圓片進(jìn)行密封鍵合；對(duì)鍵合后的晶圓片進(jìn)行切割獲得核酸檢測(cè)芯片。本發(fā)明使得聚合酶鏈?zhǔn)綌U(kuò)增反應(yīng)的時(shí)間大為縮減，且沉積的氮氧化硅膜能夠抵抗后續(xù)工藝中堿性溶液的腐蝕，并且不需要額外的清洗工藝去除，可以保證玻璃蓋片與芯片基材具有足夠強(qiáng)度，不會(huì)出現(xiàn)剝離現(xiàn)象，還具有減少反射光對(duì)熒光測(cè)試的干擾問題，提高測(cè)試的準(zhǔn)確性。