單晶爐用伸展式熱屏蔽器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210205680.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102758258A 公開(kāi)（公告）日 2012-10-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN102758258A 申請(qǐng)公布日 2012-10-31
分類(lèi)號(hào) C30B35/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 林游輝 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 合肥景坤新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安徽合肥華信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 方崢
地址 231600 安徽省合肥市肥東縣新城開(kāi)發(fā)區(qū)荷花路13號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種單晶爐用伸展式熱屏蔽器，包括有圍繞于硅單晶棒外熱屏，熱屏的上端連接有熱屏上蓋，熱屏上蓋的下方設(shè)有上保溫筒，所述熱屏是由熱屏外殼、熱屏內(nèi)殼及中間的熱屏保溫層組成，熱屏呈圓臺(tái)狀，且具有中央通道，熱屏與熱屏上蓋之間的夾角為40-50°，中央通道的縱剖面為梯形，熱屏外側(cè)滑動(dòng)配合有延伸熱屏，延伸熱屏外側(cè)連接有推動(dòng)氣缸，推動(dòng)氣缸的缸體固定于熱屏上蓋上。在一定程度上增加了熔硅的縱向溫度梯度，同時(shí)采用延伸熱屏后，可以調(diào)節(jié)氬（氮）氣流對(duì)固-液界面的吹拂高度，增強(qiáng)了氬（氮）氣流攜帶結(jié)晶潛熱的作用因此有利于單晶生長(zhǎng)，并可以提高結(jié)晶速率，進(jìn)而提高拉晶速率。