一種單晶硅加熱防塵裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220327240.9 申請日 -
公開（公告）號 CN202658272U 公開（公告）日 2013-01-09
申請公布號 CN202658272U 申請公布日 2013-01-09
分類號 C30B29/06(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 林游輝 申請（專利權）人 合肥景坤新能源有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 230001 安徽省合肥市肥東縣新城開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種單晶硅加熱防塵裝置，包括坩堝軸、托盤、法蘭、磁流體、壓板和多層保溫板，所述坩堝軸頂部設有托盤，所述托盤下方設有法蘭，所述法蘭下方設有磁流體，包裹在坩堝軸外部，所述磁流體下方設有壓板，所述壓板下方設有多層保溫板。該防塵裝置的構思獨特，結構簡單，該裝置的整體性結構，既方便快捷，有增強了其周密性，大大提高了生產(chǎn)效率，延長設備的使用壽命，避免了浪費。