一種晶體制備快速退火爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022200340.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213570827U 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN213570827U 申請公布日 2021-06-29
分類號 C30B33/02（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王家武;楊定永;張順祥;阿鳳雄;羅應(yīng)強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 云南全控機(jī)電有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 650000云南省昆明市中國（云南）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)昆明片區(qū)經(jīng)開區(qū)阿拉街道辦事處云大西路39號新興產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)A幢1樓103-105號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶體制備快速退火爐，所述爐身的頂部開設(shè)有環(huán)形保溫槽，所述環(huán)形保溫槽內(nèi)壁上固定裝配有外層保護(hù)磚，四組所述導(dǎo)熱柱的頂端固定裝配有內(nèi)層保溫碳化硅板，所述加熱底板內(nèi)均布有圓盤形纏繞加熱爐管，且所述保溫水管的外壁上套接裝配有套環(huán)，且所述套環(huán)的側(cè)壁上固定有固定裝配在導(dǎo)熱柱外壁上的安裝塊，所述限位板由內(nèi)到外依次裝配有纏繞裝配在內(nèi)層保溫碳化硅板外壁外側(cè)的第一圓柱形纏繞加熱爐管、第二圓柱形纏繞加熱爐管和第三圓柱形纏繞加熱爐管，使得晶體各向性能在徑向以及高度方向上的差異大幅度減小，防止溫度消散太快而影響內(nèi)應(yīng)力差異過大化，提高晶體的退火效果。